À̾ȹ«¿ª»ó»ç´Â ȯ°æÁ߽à ±â¾÷ °¡Ä¡¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î ÀÚÀ²ÀûÀΠȯ°æ °æ¿µ ½Ã½ºÅÛÀ» ¿î¿µÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
Beckman Coulter »çÀÇ ANATEL TOC ºÐ¼®±â´Â Çö´ë Ãʼø¼ö ½Ã½ºÅÛÀÇ À¯±â¹°ÀÇ ¿À¿° ¸ð´ÏÅ͸µÀÇ Á¶°Ç¿¡ ºÎÇÕÇÏ´Â »ê¾÷ Ç¥ÁØÀ¸·Î Àνĵǰí ÀÖ½À´Ï´Ù. ANATEL TOC ºÐ¼®±â´Â ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ ±â¼úÀÇ Áöħ¼ ITRS (Industry Technology Roadmap for Semiconductors) ·Îµå¸ÊÀÇ TOC ·¹º§°ú ÀÏÄ¡ÇÏ´Â, 1 - 3 ppb ÀÌÇÏ¿¡¼ÀÇ Á¤È®µµ¿Í ÀçÇö¼ºÀÌ ¾ÆÁÖ ¶Ù¾î³³´Ï´Ù.
ÀüÀÚ°øÇÐ UPW ½Ã¼³¿¡¼ ¿ëÁ¸»ê¼Ò ¸ð´ÏÅ͸µ ¿ëÀÇ Hach»çÀÇ Orbisphere Àü±âÈÇÐ ¼¾¼´Â ºü¸£°í Á¤È®ÇÑ »ê¼Ò ÃøÁ¤À» À§ÇÑ ÃÖ°íÀÇ ¼±ÅÃÀÔ´Ï´Ù. Orbisphere ¼¾¼´Â ½Å·Úµµ¿Í ³·Àº À¯Áö°ü¸® ºóµµ ¸é¿¡¼ ¸Å¿ì ÁÁÀº ÆòÆÇÀ» °¡Áö°í ÀÖÀ¸¸ç °¡Àå ±î´Ù·Î¿î ÃøÁ¤ Á¶°Ç¿¡¼µµ ÃæÁ·ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï °í¾ÈµÇ¾ú½À´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡¼ÀÇ UPW ¿£Áö´Ï¾îµéÀ» À§Çؼ, ¼¾¼µéÀº °·ÂÇÏ°í Á¤È®ÇÑ ±×¸®°í È¿°úÀûÀÎ °¡½º ÃøÁ¤ ÇØ°á¿¡ ÀûÇÕÇÑ Orbisphere ±â±â¿Í ÇÔ²² »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù.
Biotector TOC ºÐ¼®±â´Â ¹ÝµµÃ¼/ÀüÀÚ »ê¾÷ÀÇ Áõ±â°èÅëÀÇ ÀÀÃà¼ö ¹× ³Ã°¢¼öÀÇ ¼öÁú °ü¸®¿¡ Ź¿ùÇÑ ¼º´ÉÀÌ ÀÔÁõµÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç, TOC/TN/TP ºÐ¼®±â´Â Æó¼ö ó¸®Àå¿¡¼ 2mm Ư´ë »ùÇà Ʃºê¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ¹Ì¸³ÀÚ°¡ Á¸ÀçÇϴ ȥŹÇÑ »ùÇÃÀÇ ÃøÁ¤¿¡µµ ¸·Èû¾øÀÌ Å¹¿ùÇÑ ¼º´ÉÀÌ ÀÔÁõµÇ¾î ó¸® ºñ¿ë¹× °ü¸® ºñ¿ëÀ» ´ëÆø °¨¼ÒÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
½ÇÇè½Ç, ¿¬±¸¼Ò, ¼Ò·®ÀÇ UPW ½Ã¼³À» ÇÊ¿ä·ÎÇÏ´Â ºÐ¾ß¿¡¼ µ¶ÀÏ ±â¼ú·Î ź»ýÇÑ NEPTEC Ultrapure Water SystemÀº ´Ù¾çÇÑ Á¾·ùÀÇ ¼öÁú°ú ¼ö·®À» »ý»êÇÏ´Â Á¦Ç°À¸·Î, ³·Àº »ý»êºñ¿ëÀ¸·Î °íÇ°ÁúÀÇ ¿©·¯ ¼öÁú/¼ö·®À» ÀûÀçÀû¼Ò¿¡ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ºñÀúÇ× 18.2 M¥Ø-cm (Àüµµµµ 0.055 ¥ìS/cm), TOC 1-3 ppb ¼öÁØÀÇ ¼öÁúÀ» »ý»ðÇÕ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ À¯Áö°ü¸®°¡ ¼Õ½±°í °£´ÜÇÏ¸ç ºñ¿ëÀÌ Àú·ÅÇÕ´Ï´Ù.