PRODUCT

이안무역상사는 환경중시 기업 가치를 바탕으로 자율적인 환경 경영 시스템을 운영하고 있습니다.

용존/가스 질소(N2) 분석기


반도체 시장은 마이크로 프로세서, 특정 용도의 집적 회로, 디지털 신호 프로세서 및 메모리 저장 장치와 같은 집적 회로를 생산합니다. 이것은 매우 비싼 생산 공정이며, 최적의 웨이퍼 생산 수율은 제조 공정 전반에 걸쳐 고성능 계측을 필요로합니다. O2, O3, H2 및 N2와 같은 용존 가스는 웨이퍼 처리에 사용되는 초순수에서 다른 이유로 측정됩니다. 용존 수소, 오존 및 질소는 기능성 수 (functional water) 라 불리는 새로운 응용 분야에서 중요합니다. 각 가스는 특정 용도의 웨이퍼 처리 단계에 맞게 사용하기 위해 정화장치를 떠난 후 초순수(HPW)에 용해 됩니다. 이 물은 웨이퍼 프로세싱 툴의 성능을 향상시킬뿐만 아니라 웨이퍼 프로세싱 동안 물 및 화학 약품 사용을 줄이기 위해 사용됩니다. 수소 농도는 0-1.5 ppm, 오존 및 질소는 0-20 ppm입니다.


Orbisphere 프리미엄 가스 분석기는 가장 정밀하고 정확합니다.


TOP