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À̾ȹ«¿ª»ó»ç´Â ȯ°æÁ߽à ±â¾÷ °¡Ä¡¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î ÀÚÀ²ÀûÀΠȯ°æ °æ¿µ ½Ã½ºÅÛÀ» ¿î¿µÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

¹ÝµµÃ¼/ÀüÀÚ»ê¾÷



Beckman Coulter »çÀÇ ANATEL TOC ºÐ¼®±â´Â Çö´ë Ãʼø¼ö ½Ã½ºÅÛÀÇ À¯±â¹°ÀÇ ¿À¿° ¸ð´ÏÅ͸µÀÇ Á¶°Ç¿¡ ºÎÇÕÇÏ´Â »ê¾÷ Ç¥ÁØÀ¸·Î Àνĵǰí ÀÖ½À´Ï´Ù. ANATEL TOC ºÐ¼®±â´Â ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ ±â¼úÀÇ Áöħ¼­ ITRS (Industry Technology Roadmap for Semiconductors) ·Îµå¸ÊÀÇ TOC ·¹º§°ú ÀÏÄ¡ÇÏ´Â, 1 - 3 ppb ÀÌÇÏ¿¡¼­ÀÇ Á¤È®µµ¿Í ÀçÇö¼ºÀÌ ¾ÆÁÖ ¶Ù¾î³³´Ï´Ù.


¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀº ¸¶ÀÌÅ©·Î ÇÁ·Î¼¼¼­, ƯÁ¤ ¿ëµµÀÇ ÁýÀû ȸ·Î, µðÁöÅÐ ½ÅÈ£ ÇÁ·Î¼¼¼­ ¹× ¸Þ¸ð¸® ÀúÀå ÀåÄ¡¿Í °°Àº ÁýÀû ȸ·Î¸¦ »ý»êÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ°ÍÀº ¸Å¿ì ºñ½Ñ »ý»ê °øÁ¤À̸ç, ÃÖÀûÀÇ ¿þÀÌÆÛ »ý»ê ¼öÀ²Àº Á¦Á¶ °øÁ¤ Àü¹Ý¿¡ °ÉÃÄ °í¼º´É °èÃøÀ» ÇÊ¿ä·ÎÇÕ´Ï´Ù. O2, O3, H2 ¹× N2¿Í °°Àº ¿ëÁ¸ °¡½º´Â ¿þÀÌÆÛ Ã³¸®¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Ãʼø¼ö¿¡¼­ ´Ù¸¥ ÀÌÀ¯·Î ÃøÁ¤µË´Ï´Ù. ¿ëÁ¸ ¼ö¼Ò, ¿ÀÁ¸ ¹× Áú¼Ò´Â ±â´É¼º ¼ö (functional water) ¶ó ºÒ¸®´Â »õ·Î¿î ÀÀ¿ë ºÐ¾ß¿¡¼­ Áß¿äÇÕ´Ï´Ù. °¢ °¡½º´Â ƯÁ¤ ¿ëµµÀÇ ¿þÀÌÆÛ Ã³¸® ´Ü°è¿¡ ¸Â°Ô »ç¿ëÇϱâ À§ÇØ Á¤È­ÀåÄ¡¸¦ ¶°³­ ÈÄ Ãʼø¼ö(HPW)¿¡ ¿ëÇØ µË´Ï´Ù. ÀÌ ¹°Àº ¿þÀÌÆÛ ÇÁ·Î¼¼½Ì ÅøÀÇ ¼º´ÉÀ» Çâ»ó½Ãų»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ¿þÀÌÆÛ ÇÁ·Î¼¼½Ì µ¿¾È ¹° ¹× È­ÇÐ ¾àÇ° »ç¿ëÀ» ÁÙÀ̱â À§ÇØ »ç¿ëµË´Ï´Ù. ¼ö¼Ò ³óµµ´Â 0-1.5 ppm, ¿ÀÁ¸ ¹× Áú¼Ò´Â 0-20 ppmÀÔ´Ï´Ù.


ÀüÀÚ°øÇÐ UPW ½Ã¼³¿¡¼­ ¿ëÁ¸»ê¼Ò ¸ð´ÏÅ͸µ ¿ëÀÇ Hach»çÀÇ Orbisphere Àü±âÈ­ÇÐ ¼¾¼­´Â ºü¸£°í Á¤È®ÇÑ »ê¼Ò ÃøÁ¤À» À§ÇÑ ÃÖ°íÀÇ ¼±ÅÃÀÔ´Ï´Ù. Orbisphere ¼¾¼­´Â ½Å·Úµµ¿Í ³·Àº À¯Áö°ü¸® ºóµµ ¸é¿¡¼­ ¸Å¿ì ÁÁÀº ÆòÆÇÀ» °¡Áö°í ÀÖÀ¸¸ç °¡Àå ±î´Ù·Î¿î ÃøÁ¤ Á¶°Ç¿¡¼­µµ ÃæÁ·ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï °í¾ÈµÇ¾ú½À´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡¼­ÀÇ UPW ¿£Áö´Ï¾îµéÀ» À§Çؼ­, ¼¾¼­µéÀº °­·ÂÇÏ°í Á¤È®ÇÑ ±×¸®°í È¿°úÀûÀÎ °¡½º ÃøÁ¤ ÇØ°á¿¡ ÀûÇÕÇÑ Orbisphere ±â±â¿Í ÇÔ²² »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù.


BioTector TOC ºÐ¼®±â´Â ¹ÝµµÃ¼/ÀüÀÚ »ê¾÷ÀÇ Áõ±â°èÅëÀÇ ÀÀÃà¼ö ¹× ³Ã°¢¼öÀÇ ¼öÁú °ü¸®¿¡ Ź¿ùÇÑ ¼º´ÉÀÌ ÀÔÁõµÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç, TOC/TN/TP ºÐ¼®±â´Â Æó¼ö ó¸®Àå¿¡¼­ 2mm Ư´ë »ùÇà Ʃºê¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ¹Ì¸³ÀÚ°¡ Á¸ÀçÇϴ ȥŹÇÑ »ùÇÃÀÇ ÃøÁ¤¿¡µµ ¸·Èû¾øÀÌ Å¹¿ùÇÑ ¼º´ÉÀÌ ÀÔÁõµÇ¾î ó¸® ºñ¿ë¹× °ü¸® ºñ¿ëÀ» ´ëÆø °¨¼ÒÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.


½ÇÇè½Ç, ¿¬±¸¼Ò, ¼Ò·®ÀÇ UPW ½Ã¼³À» ÇÊ¿ä·ÎÇÏ´Â ºÐ¾ß¿¡¼­ µ¶ÀÏ ±â¼ú·Î ź»ýÇÑ NEPTEC Ultrapure Water SystemÀº ´Ù¾çÇÑ Á¾·ùÀÇ ¼öÁú°ú ¼ö·®À» »ý»êÇÏ´Â Á¦Ç°À¸·Î, ³·Àº »ý»êºñ¿ëÀ¸·Î °íÇ°ÁúÀÇ ¿©·¯ ¼öÁú/¼ö·®À» ÀûÀçÀû¼Ò¿¡ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ºñÀúÇ× 18.2 M¥Ø-cm (Àüµµµµ 0.055 ¥ìS/cm), TOC 1-3 ppb ¼öÁØÀÇ ¼öÁúÀ» »ý»ðÇÕ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ À¯Áö°ü¸®°¡ ¼Õ½±°í °£´ÜÇÏ¸ç ºñ¿ëÀÌ Àú·ÅÇÕ´Ï´Ù.




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